气体微流量计测量小孔流导方法研究 - 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会.pdf

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2026-1-11 18:54 | 查看全部 阅读模式

会议论文《气体微流量计测量小孔流导方法研究》发表于第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会。该文探讨了利用气体微流量计精确测量小孔流导的方法,针对微小气体流量的检测难题,提出了一种有效的实验方案。研究对提高真空系统检漏精度和气体流量测量的准确性具有重要意义。

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气体微流量计测量小孔流导方法研究 - 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会
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