会议论文《服务于微电子产业的MEMS新技术 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议》聚焦于微机电系统（MEMS）在微电子产业中的应用与创新。文章介绍了多项前沿技术，包括高精度传感器、微型化制造工艺及集成化设计方法，旨在提升MEMS器件的性能与可靠性。该论文为推动MEMS技术与微电子产业的深度融合提供了重要参考。
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