无驱动结构硅微机械陀螺的原理分析和性能测试 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-11 18:20 | 查看全部 阅读模式

会议论文《无驱动结构硅微机械陀螺的原理分析和性能测试》探讨了无驱动结构在硅微机械陀螺中的应用。该文详细分析了其工作原理,并通过实验对其性能进行了测试,验证了其在灵敏度和稳定性方面的优势。文章为微机电系统领域提供了有价值的参考,对提高陀螺仪性能具有重要意义。

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无驱动结构硅微机械陀螺的原理分析和性能测试 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议
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