会议论文《小型元器件的检漏 - 2009北京真空学会真空技术交流会》探讨了小型元器件在真空环境下的泄漏检测方法。文章介绍了多种检漏技术，包括氦质谱检漏仪和压力衰减法，分析了其在实际应用中的优缺点。通过对不同材料和结构的元器件进行实验，提出了提高检漏精度和效率的建议，对真空技术领域的工程实践具有重要参考价值。
文档为pdf格式，0.55MB，总共8页。
举报
