大宗硅烷供气系统设计 - 2009全国特种气体第十三次年会.pdf

6 0
2026-1-11 16:29 | 查看全部 阅读模式

会议论文《大宗硅烷供气系统设计》探讨了硅烷气体在工业应用中的安全与高效供气系统设计。文章分析了硅烷的物理化学特性及其在半导体制造等领域的应用需求,提出了针对大宗气体供应的系统设计方案。作者强调了系统安全性、可靠性及经济性的重要性,并结合实际案例进行了详细说明,为相关行业的气体供应系统优化提供了参考依据。

文档为pdf格式,0.61MB,总共4页。

大宗硅烷供气系统设计 - 2009全国特种气体第十三次年会
文件大小:
624.64 KB
高速下载
2026 资料下载 联系邮件:1991591830#qq.com 浙ICP备2024084428号-1