基于静电刚度的谐振式微加速度计闭环锁相驱动 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

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2026-1-11 16:06 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于静电刚度的谐振式微加速度计闭环锁相驱动》探讨了谐振式微加速度计中利用静电刚度实现闭环锁相驱动的方法。该研究通过分析系统动态特性,提出了一种优化的控制策略,提高了加速度计的灵敏度和稳定性。论文为微机电系统中的高精度传感技术提供了理论支持与实践参考。

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基于静电刚度的谐振式微加速度计闭环锁相驱动 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
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