会议论文《基于单片机和CPLD的无线膜厚监测系统》发表于第六届华东三省一市真空学术交流会。该文提出一种利用单片机与CPLD技术实现的无线膜厚监测方案,提高了测量精度与系统稳定性。系统通过无线传输技术实时监控薄膜厚度变化,适用于真空镀膜等工业领域,具有良好的应用前景。
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