基于F-P干涉的光纤MEMS压力传感器 - 2009年江苏省“光科学与技术”博士生学术论坛.pdf

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2026-1-11 15:00 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于F-P干涉的光纤MEMS压力传感器》发表于2009年江苏省“光科学与技术”博士生学术论坛。该文提出一种新型光纤MEMS压力传感器,利用法布里-珀罗(F-P)干涉原理,通过微机电系统技术实现高灵敏度压力检测。研究展示了该传感器在结构设计、工作原理及实验测试方面的创新点,为光纤传感技术的发展提供了新思路。

文档为pdf格式,0.34MB,总共5页。

基于F-P干涉的光纤MEMS压力传感器 - 2009年江苏省“光科学与技术”博士生学术论坛
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