会议论文《化学气相沉积设备计算机控制系统设计》探讨了用于化学气相沉积（CVD）工艺的计算机控制系统的架构与实现。该文针对CVD设备的控制需求，提出了基于计算机的集成控制方案，提升了工艺精度与自动化水平。文章在四川省电子学会传感技术第11届学术年会上发表，为半导体制造领域的控制系统设计提供了理论支持与实践参考。
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