会议论文《利用扫描电子显微镜实现MEMS微观形态测试》在四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十四届学术年会上发表。该文探讨了扫描电子显微镜（SEM）在微机电系统（MEMS）微观结构检测中的应用，分析了其在高分辨率成像、表面形貌分析及缺陷检测方面的优势。研究为MEMS器件的可靠性评估和质量控制提供了重要技术手段，具有广泛的工程应用价值。
文档为pdf格式，0.65MB，总共4页。
举报
