力电耦合下MEMS微梁变形行为的结构参数影响研究 - 福建省科协第九届学术年会、2009年福建省机械工程学会学术年会.pdf

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2026-1-11 13:48 | 查看全部 阅读模式

会议论文《力电耦合下MEMS微梁变形行为的结构参数影响研究》探讨了在力电耦合作用下MEMS微梁的变形特性。文章分析了不同结构参数对微梁性能的影响,为MEMS器件的设计与优化提供了理论依据。该研究在2009年福建省机械工程学会学术年会上发表,具有重要的工程应用价值。

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力电耦合下MEMS微梁变形行为的结构参数影响研究 - 福建省科协第九届学术年会、2009年福建省机械工程学会学术年会
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