会议论文《利用CCD接收激光衍射的方法测量精密缝宽和圆孔直径》介绍了通过CCD探测激光衍射图样来精确测量微小结构尺寸的技术方法。该研究结合了光学与电子技术，有效提高了缝宽和圆孔直径的测量精度。论文由多个河北省学会联合举办的相关学术年会发表，展示了在精密测量领域的创新成果。
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