会议论文《一种新型的硅谐振式微传感器频率特性测试系统》介绍了针对硅谐振式微传感器设计的频率特性测试系统。该系统通过优化结构和提高测量精度，有效提升了传感器性能评估的可靠性。文章提出了创新的测试方法，为微传感器在实际应用中的稳定性与准确性提供了技术支持，具有重要的工程价值。
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