一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-11 11:54 | 查看全部 阅读模式

会议论文《一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议。该文介绍了基于单晶硅材料的振动环陀螺仪的设计原理与制作工艺,重点分析了结构优化、驱动与检测电路设计等内容,旨在提高陀螺仪的灵敏度与稳定性。研究为微型惯性导航系统提供了新的技术路径。

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一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议
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