会议论文《高纯金属有机化合物(MO源)质量分析》发表于第十一届全国MOCVD学术会议，探讨了MO源在半导体材料制备中的关键作用。文章详细分析了MO源的纯度、稳定性及杂质含量对生长薄膜性能的影响，提出了有效的质量控制方法。研究为提高MOCVD工艺的可靠性与产品一致性提供了理论支持和技术参考。
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