会议论文《高温离子注入靶盘设计简介》介绍了在高温环境下离子注入过程中靶盘的设计要点。文章分析了高温对材料性能和工艺稳定性的影响，提出了优化靶盘结构和材料选择的建议。该论文为提高离子注入效率和产品质量提供了理论支持和技术参考，适用于半导体制造领域的相关研究与实践。
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