会议论文《靶基间距和溅射角度对Cu、Fe单层膜性质的影响》发表于第七届中国功能材料及其应用学术会议。该研究探讨了靶基间距与溅射角度对铜（Cu）和铁（Fe）单层薄膜结构及性能的影响，通过实验分析不同工艺参数下薄膜的微观结构和物理特性，为优化薄膜制备工艺提供了理论依据和技术支持。
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