会议论文《双筒牵引复合型分子泵的研制》介绍了新型分子泵的设计与实验结果。该研究针对高真空环境需求,提出双筒牵引复合结构,提升了泵的抽气效率和工作稳定性。通过优化结构参数,实现了更高的极限真空度和更广的工作压力范围。论文为分子泵在半导体制造和科研领域的应用提供了理论支持和技术参考。
文档为pdf格式,0.16MB,总共3页。
举报