会议论文《铝掺杂量对氧化锌(ZnO_Al)薄膜光电特性影响》探讨了不同铝掺杂量对ZnO薄膜光电性能的影响。研究结果表明,适量的铝掺杂可有效改善ZnO薄膜的导电性能,同时对光学透过率产生一定影响。该研究为优化ZnO基透明导电薄膜的性能提供了理论依据和技术参考。
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