会议论文《西门子法生产多晶硅还原炉内副产物的研究》探讨了西门子法生产多晶硅过程中还原炉内副产物的生成机制与影响因素。该研究针对多晶硅生产中的关键环节,分析了副产物的种类、形成条件及其对产品质量和生产效率的影响,为优化工艺参数、提高生产效率和降低污染提供了理论依据和技术支持。
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