组分渐变的SiGe HBT材料的生长 - 2010年全国半导体器件技术研讨会.pdf

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2026-1-11 06:05 | 查看全部 阅读模式

会议论文《组分渐变的SiGe HBT材料的生长》介绍了在2010年全国半导体器件技术研讨会上关于SiGe异质结双极晶体管(HBT)材料的研究成果。该文详细探讨了组分渐变SiGe材料的生长方法,分析了其在性能优化和器件应用中的优势,为高性能半导体器件的发展提供了理论支持和技术参考。

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组分渐变的SiGe HBT材料的生长 - 2010年全国半导体器件技术研讨会
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