会议论文《等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜的气相反应模拟》探讨了在等离子体增强化学气相沉积（PECVD）过程中微晶硅薄膜的气相反应机制。该研究通过模拟分析，揭示了气体反应路径及关键参数对薄膜生长的影响，为优化制备工艺提供了理论依据，具有重要的应用价值。
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