会议论文《等离子体起辉条件对微晶硅薄膜微结构和异质结界面的影响》探讨了等离子体起辉参数对微晶硅薄膜性能的影响。研究分析了不同起辉条件下薄膜的微结构变化及其与上层材料形成的异质结界面特性，为优化薄膜太阳能电池的制备工艺提供了理论依据和技术支持。
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