稀贵金属化学气相沉积(CVD)研究与应用 - “贵金属的发展、超越”2010年全国贵金属学术研讨会.pdf

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2026-1-11 05:54 | 查看全部 阅读模式

会议论文《稀贵金属化学气相沉积(CVD)研究与应用》发表于“贵金属的发展、超越”2010年全国贵金属学术研讨会。该文系统介绍了稀贵金属CVD技术的最新研究成果,探讨了其在高纯度材料制备中的应用前景。通过对反应条件、沉积机理及产物性能的分析,为相关领域的技术发展提供了理论支持和实践参考。

文档为pdf格式,0.94MB,总共9页。

稀贵金属化学气相沉积(CVD)研究与应用 - “贵金属的发展、超越”2010年全国贵金属学术研讨会
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