会议论文《磁控溅射ZAO薄膜的磁场研究》发表于第十一届中国光伏大会暨展览会，探讨了磁控溅射过程中磁场对ZAO薄膜性能的影响。研究通过实验分析不同磁场参数对薄膜结构和光电特性的作用，为优化ZAO薄膜制备工艺提供了理论依据和技术支持，对提升光伏器件效率具有重要意义。
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