MEMS压阻式湿度传感器系统温漂的测试与抑制 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

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2026-1-11 10:56 | 查看全部 阅读模式

会议论文《MEMS压阻式湿度传感器系统温漂的测试与抑制》探讨了MEMS压阻式湿度传感器在温度变化下的性能稳定性问题。通过实验测试分析了温度对传感器输出的影响,提出了有效的温漂抑制方法,提高了传感器的测量精度和可靠性,为湿度传感技术的发展提供了理论支持和实践指导。

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MEMS压阻式湿度传感器系统温漂的测试与抑制 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
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