磁控溅射功率及基片温度对LiCoO2薄膜的影响 - 第七届中国功能材料及其应用学术会议.pdf

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2026-1-11 05:52 | 查看全部 阅读模式

会议论文《磁控溅射功率及基片温度对LiCoO2薄膜的影响》探讨了磁控溅射过程中功率和基片温度对LiCoO2薄膜性能的影响。研究结果表明,适当的功率和温度可以显著改善薄膜的结构和电化学性能,为锂离子电池正极材料的制备提供了理论依据和技术参考。

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磁控溅射功率及基片温度对LiCoO2薄膜的影响 - 第七届中国功能材料及其应用学术会议
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