会议论文《直流磁控溅射ZnO_Ga薄膜的性能研究》发表于第十一届中国光伏大会暨展览会,主要探讨了采用直流磁控溅射技术制备ZnO_Ga薄膜的工艺参数及其光电性能。研究分析了不同掺杂浓度对薄膜结构、光学和电学性质的影响,为高性能透明导电薄膜在光伏器件中的应用提供了理论依据和技术支持。
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