会议论文《溅射功率对磁控溅射制备V02薄膜的结构与性能的影响》探讨了不同溅射功率对V02薄膜微观结构和热致变色性能的影响。研究结果表明，溅射功率显著影响薄膜的晶粒尺寸、结晶度及相变温度，从而改变其光学性能。该研究为优化V02薄膜制备工艺提供了理论依据和技术支持。
文档为pdf格式，0.42MB，总共3页。
举报
