会议论文《大面积喷淋式电极VHF-PECVD反应室等离子体模拟》介绍了针对大面积薄膜沉积的VHF-PECVD反应室的等离子体特性研究。通过数值模拟方法，分析了喷淋式电极结构对等离子体分布的影响，优化了反应室设计，提高了薄膜均匀性和沉积效率。该研究为高效、高质量的光伏薄膜制备提供了理论支持和技术参考。
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