基于变比模型的AFM扫描器迟滞建模与控制 - 第21届中国过程控制会议.pdf

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2026-1-11 02:48 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于变比模型的AFM扫描器迟滞建模与控制》发表于第21届中国过程控制会议,旨在研究原子力显微镜(AFM)扫描器在扫描过程中产生的迟滞现象。文章提出一种变比模型,用于更精确地描述和控制迟滞行为,提高AFM的成像精度与稳定性。该研究对提升纳米级测量与操控技术具有重要意义。

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基于变比模型的AFM扫描器迟滞建模与控制 - 第21届中国过程控制会议
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