会议论文《四面体非晶碳作为薄膜声表面波器件增频衬底的研究》探讨了四面体非晶碳（ta-C）在声表面波器件中的应用潜力。研究通过实验分析表明，ta-C材料具有高硬度、低损耗和优异的机械性能，能够有效提升声表面波器件的工作频率和性能稳定性。该成果为新型高频声表面波器件的开发提供了新的材料选择，对微电子与传感器技术的发展具有重要意义。
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