会议论文《制备工艺对MOCVD法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜结构及性能的影响》探讨了不同制备工艺参数对Al掺杂ZnO薄膜结构和性能的影响。研究通过调节反应温度、气体流量等条件，分析其对薄膜结晶质量、表面形貌及电学性能的影响，为优化Al:ZnO薄膜的制备工艺提供了理论依据和技术支持。
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