会议论文《利用四极杆质谱监测硅薄膜沉积过程中的硅烷利用率》发表于第十一届中国光伏大会暨展览会，旨在探讨如何通过四极杆质谱技术实时监测硅烷在薄膜沉积过程中的利用率。该研究为提高光伏材料制备效率和降低原料消耗提供了有效手段，对推动光伏产业的技术进步具有重要意义。
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