傅里叶红外光谱法测量SiO2薄膜计量比 - 第八届全国信息获取与处理学术会议.pdf

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2026-1-11 01:33 | 查看全部 阅读模式

会议论文《傅里叶红外光谱法测量SiO2薄膜计量比》发表于第八届全国信息获取与处理学术会议。该文探讨了利用傅里叶红外光谱技术对SiO2薄膜的化学计量比进行精确分析的方法。通过分析红外吸收光谱特征峰,研究人员实现了对薄膜成分的定量评估,为半导体和光学薄膜的制备提供了重要的检测手段。

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傅里叶红外光谱法测量SiO2薄膜计量比 - 第八届全国信息获取与处理学术会议
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