会议论文《RF-PECVD法制备微晶硅籽晶层的研究》发表于第十一届中国光伏大会暨展览会，探讨了利用射频等离子体增强化学气相沉积技术制备微晶硅籽晶层的工艺与性能。研究旨在提高硅基薄膜太阳能电池的效率与稳定性，通过优化沉积参数，实现高质量微晶硅层的制备，为光伏产业提供了新的技术路径。
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