AlInN生长条件对表面形貌和In组分的影响 - 第七届中国国际半导体照明论坛.pdf

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2026-1-11 00:15 | 查看全部 阅读模式

会议论文《AlInN生长条件对表面形貌和In组分的影响》发表于第七届中国国际半导体照明论坛,探讨了不同生长条件下AlInN材料的表面形貌及铟(In)组分的变化规律。研究通过调节生长参数,分析其对材料结构和性能的影响,为优化AlInN基光电器件提供了重要参考。

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AlInN生长条件对表面形貌和In组分的影响 - 第七届中国国际半导体照明论坛
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