会议论文《批量生产的微晶硅薄膜沉积技术_一室多片、高均匀度和微晶成分可调》介绍了在2010年新能源和节能技术学术交流研讨会上提出的一种高效微晶硅薄膜制备方法。该技术实现了在同一反应室内同时沉积多片基板，提高了生产效率。同时，通过优化工艺参数，显著提升了薄膜的均匀性和微晶成分的可控性，为太阳能电池等应用提供了重要技术支持。
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