会议论文《基于正交试验的双离子束溅射沉积系统参数优化设计》发表于第九届全国光电技术学术交流会。该文通过正交试验方法，对双离子束溅射沉积系统的工艺参数进行优化设计，旨在提高薄膜制备的质量与效率。研究分析了不同参数组合对沉积效果的影响，为实际应用提供了科学依据和技术支持。
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