会议论文《利用硅各向异性腐蚀制作各种微光学结构》介绍了通过硅各向异性腐蚀技术制造微光学结构的方法。该方法利用化学腐蚀剂对硅晶体进行选择性腐蚀，实现高精度、复杂形状的微结构加工。文章详细讨论了工艺参数对结构形貌的影响，并展示了多种微光学元件的制备实例，为微光学器件的集成化和微型化提供了有效途径。
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