会议论文《TiAlON系薄膜材料的椭偏研究》发表于第十三届全国光学测试学术讨论会。该文通过椭偏技术对TiAlON系薄膜的光学性质进行了系统研究，分析了其折射率和厚度等关键参数。研究结果为TiAlON薄膜在光学和功能材料领域的应用提供了理论依据和技术支持。
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