会议论文《耐特种气体腐蚀涡旋干泵的研制》介绍了针对特种气体环境设计的涡旋干泵。该研究解决了传统泵在强腐蚀性气体中的性能下降问题，提升了设备的稳定性和寿命。通过材料优化与结构改进，实现了对多种特种气体的有效抽气。该成果为特种气体应用领域提供了可靠的技术支持，具有重要的工程价值。
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