基于SU8厚胶制备折叠波导工艺研究 - 第15届全国特种加工学术会议.pdf

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2026-1-10 16:53 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于SU8厚胶制备折叠波导工艺研究》发表于第15届全国特种加工学术会议,探讨了利用SU8光刻胶制作折叠波导的新型微加工工艺。该研究针对传统方法的局限性,提出优化的光刻与蚀刻流程,提升了波导结构的精度与可靠性,为微波器件的集成化发展提供了技术支持。

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基于SU8厚胶制备折叠波导工艺研究 - 第15届全国特种加工学术会议
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