会议论文《高纯贵金属靶材在半导体制造中的应用与制备技术》介绍了高纯贵金属靶材在半导体工业中的关键作用。文章探讨了其在溅射镀膜等工艺中的应用，强调了材料纯度对器件性能的影响。同时，详细阐述了靶材的制备技术，包括熔炼、成型及表面处理等环节，为提升半导体器件质量提供了理论支持和技术参考。
文档为pdf格式，0.24MB，总共5页。
举报
