高压气固反应床制备氮化铬纳米粉体研究 - 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

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2026-1-10 16:15 | 查看全部阅读模式

会议论文《高压气固反应床制备氮化铬纳米粉体研究》探讨了在高压条件下通过气固反应法制备氮化铬纳米粉体的工艺。该研究针对传统方法的局限性，提出了一种新型反应床结构，提高了产物的纯度和粒径均匀性。研究结果对半导体器件材料的制备具有重要参考价值，为微纳电子技术的发展提供了技术支持。

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