通道型正压标准漏孔校准装置 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会.pdf

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2026-1-10 15:47 | 查看全部阅读模式

会议论文《通道型正压标准漏孔校准装置》介绍了用于校准标准漏孔的新型装置。该装置采用正压原理，通过精确控制气体流量实现漏孔的准确标定。文章详细阐述了装置的结构设计、工作原理及实验验证过程，为真空技术领域提供了可靠的校准方法，对提升检漏精度具有重要意义。

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