会议论文《膜-基界面形貌对金刚石膜残余热应力的影响》探讨了界面形貌对金刚石膜在冷却过程中产生的残余热应力的影响。研究通过实验与模拟相结合的方法，分析了不同界面结构对热应力分布的调控作用，为优化金刚石膜的制备工艺提供了理论依据。
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