考虑Casimir力的平行板式纳米级执行器静态Pull-in现象分析 - 中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会.pdf

会议论文《考虑Casimir力的平行板式纳米级执行器静态Pull-in现象分析》探讨了纳米级执行器在静电和Casimir力共同作用下的静态Pull-in特性。研究通过理论分析与数值模拟，揭示了Casimir力对执行器稳定性和响应行为的影响，为微机电系统设计提供了重要参考。

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