会议论文《硫鎓盐光产酸剂的制备、纯化及其在248-nm光致抗蚀剂中的应用》介绍了硫鎓盐类光产酸剂的合成方法、纯化工艺及其在248纳米光致抗蚀剂中的应用研究。该研究对提高光刻胶的分辨率和灵敏度具有重要意义，为微电子制造领域提供了新的材料支持。
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