电化学腐蚀微细加工技术制备薄膜高频基板关键技术研究 - 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

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2026-1-10 14:53 | 查看全部阅读模式

会议论文《电化学腐蚀微细加工技术制备薄膜高频基板关键技术研究》探讨了利用电化学腐蚀技术制备高频基板的工艺方法。文章分析了该技术在微细加工中的应用优势，重点研究了关键工艺参数对基板性能的影响，为高频电子器件的发展提供了理论支持和技术参考。

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